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Ultimate Limits of Fabrication and Measurement W. Vogel & M. Büttner GmbH welche zentralen Komponenten einen EinflußAn extensive body of research is involved in pushing miniaturisation to its physical limit, encompassing the miniaturisation of electronic devices, the manipulation of single atoms by scanning tunnelling microscopy, bio engineering, the chemical synthesis of complex molecules, microsensor technology, and information storage and retrieval. In parallel to these practical aspects of miniaturisation there is also the necessity to understand the physics of