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CV-Messungen an geätzten epitaktisch gewachsenen Schichten Rutilius Taurus Aemilianus Hier erfolgt eine Orientierung anInhaltsangabe: Einleitung: In der heutigen Zeit werden in immer mehr Gerten Halbleiterbauelemente eingesetzt. Unter der Zielsetzung, mglichst viele Strukturen auf einer Flche unterzubringen, haben sich tztechniken zu einem der wichtigsten Werkzeuge bei der Herstellung von Halbleiter Mikrostrukturen entwickelt. Jede Weiterentwicklung der tztechnik erlaubt die genauere Kontrolle der tzrate, der Selektivitt, der Flankensteilheit, der immer besseren